Der Prozess der Halbleiterreduzierung der Wiederverwendung von Abwasser

Die Hauptverunreinigungen im Abwasser des Halbleiterschneidens sind Industrieabwässer, die wasserlösliche Siliziumpartikel und Reinigungsmittel enthalten. Eine direkte Einleitung führt zu einer Umweltverschmutzung. Um die Wasserressourcen vollständig, rationell und effektiv zu nutzen, wird das Schneidabwasser im Allgemeinen direkt in Reinstwasser zur Wiederverwendung gefiltert.

Der Filtrationsprozess der Wiederverwendung von Halbleiter-Abwasser: 

Rohwasser-Primärfiltration-Präzisionsfiltration-Ultrafiltration-Umkehrosmosefiltration-EDI-System-Reinstwasser

1. Primärfiltration

Das gesammelte Schneidabwasser wird durch eine Rohwasserpumpe in ein Filtersystem gepumpt, das wiederum mit einem Quarzsandtank, einem Aktivkohletank und einem Enthärter verbunden ist, um große Siliziumpartikel und einige Schwebstoffe zu filtern.

2.Präzisionsfiltration

Zur weiteren präzisen Filtration des Filtrats nach der Primärfiltration wird das Sicherheitsfiltrationssystem eingesetzt, um Verunreinigungen wie kleinere Siliziumpartikel in der Flüssigkeit zu entfernen. Es verlängert die Lebensdauer des Ultrafiltrationssystems der nächsten Stufe und senkt die Filtrationskosten. Die Hongtek Melt Blown-Kartusche wird im Allgemeinen in das Sicherheitsfiltersystem eingebaut und die am häufigsten verwendeten Spezifikationen sind wie folgt:

40-Zoll-5-Mikron-PP-Meltblown-Patrone der NPP-Serie

3.Ultrafiltration

Mittels einer Hochdruckpumpe wird das Filtrat zur Filterung in ein Ultrafiltrationssystem gepumpt, um einen Teil der wasserlöslichen Siliziumpartikel sowie Fette und andere Substanzen im Waschmittelabwasser zu entfernen. Anschließend wird das Filtrat in den Wassertank eingeleitet.

4.Umkehrosmosefiltration

Das Filtrat im Wassertank wird über eine Hochdruckpumpe in die Umkehrosmose-Filtrationsanlage gepumpt, um die restlichen wasserlöslichen Siliziumpartikel sowie Fette und andere Substanzen im Reinigungsmittelabwasser zu entfernen, und wird dann in den Wassertank geladen.

5.EDI-System

Die zur Umkehrosmosebehandlung verarbeitete Flüssigkeit wird von einer Druckerhöhungspumpe in das EDI-System gepumpt und die Ionen in der Flüssigkeit werden durch eine Ionenaustauschtechnologie entfernt. Anschließend wird es zur Wiederverwendung in der Produktion in einen Tank mit hochreinem Wasser gefüllt.